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CIF旋涂機

CIF推出的旋涂機系列產品轉速穩(wěn)定、啟動迅速,旋涂均勻,操作簡單,結構緊湊實用,為實驗室提供了理想的解決方案。
旋涂機原理:
旋涂機(spin coater)是一種薄膜制備設備。在高速旋轉的基片上,滴注各類膠液,在離心力作用下,使膠液均勻地涂覆在基片表面上形成均勻的薄膜。廣泛應用于微電子、半導體、新能源、化工材料、生物材料、光學,硅片、載玻片,晶片,基片,ITO 導電玻璃等工藝制版表面涂覆等。
產品特點
u?采用閉環(huán)控制伺服電機,數字式增速信號反饋,速勻準確,壽命長,保證勻膠均勻。
u?7寸全彩中英文互動操作觸摸屏,智能程序化可編程操控顯示,標配10個勻膠梯度階段(速度和時間梯度設置),可選配20個可編程程序,每個程序下可設置10個勻膠梯度階段,最多100個階段。
u?內置水平校準裝置,最大限度的保證旋涂均勻,可對大小不同規(guī)格的基片進行旋涂。
u?多重安全保護
電磁安全開關,蓋子打開卡盤停止,保證安全;
蓋子自鎖功能,防止飛片蓋子彈開傷人;
雙重安全上蓋,聚四氟嵌鑲鋼化玻璃,避免單一玻璃或者亞克力上蓋飛片傷人,最大限度保證實驗人員安全。
u?樣品托盤卡口和樣品托盤之間三重密封安全保護,有效降低電機進膠的風險。
u?一機兩用,根據不同樣品可選真空吸盤和非真空卡盤兩種旋涂方式。
u?符合人體功能學的水平取放樣品旋涂托盤設計,取放樣品更方便。
u?不銹鋼噴塑涂層旋涂殼體,旋涂腔體采用PTFE材料。旋涂托盤采用聚丙烯(NPP-H)材料,耐酸堿防腐蝕,保證儀器在苛刻條件下仍能正常運行。
u?上下雙腔體設計,較大的上腔體便于擦拭去除膠液,錐形下腔體結構設計便于收集膠液,并帶廢膠收集裝置。
u?可選氮氣吹、氮氣保護,自動滴膠或簡易滴膠裝置,提供更多的操作便利性。
u?適用硅片、玻璃、石英、金屬、GaAs,GaN,InP 等多種材料。
技術參數
型號
MSC
SC1
SC2
轉速
0-10000rpm
0-10000rpm
0-10000rpm
加速度
0-10000rpm/s
0-10000rpm/s
0-10000rpm/s
轉速穩(wěn)定度
±1%
±1%
±1%
勻膠時間
0-9999s
0-9999s
0-9999s
工作艙直徑
直徑180mm
直徑180mm
直徑240mm
基片尺寸
圓片Φ≤6吋,方片最大105x105mm
圓片Φ≤6吋,方片最大105x105mm
圓片Φ≤8吋,方片最大140x140mm
外型尺寸
L245xW325xH215mm
L245xW325xH285mm
L305xW385xH285mm
包裝尺寸
L365xW445xH335mm
L365xW445xH405mm
L425xW505xH405mm
整機重量
6.3Kg
7.6Kg
11.6Kg

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